%0 Journal Article
%T 微机电系统(MEMS)技术的研究与应用
%A 高世桥
%A 曲大成
%J 科技导报
%P 17-21
%D 2004
%X 微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小,学科交叉广泛;技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面;学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域,在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器,以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景。
%K 微机电系统
%K MEMS
%K 微机械加工
%K 智能控制
%U http://www.kjdb.org/CN/abstract/abstract1719.shtml