%0 Journal Article
%T MEMS加速度传感器噪声分析
%A 曲明哲
%A 罗新恒
%A 温瑞智
%J 地震工程与工程振动
%P 26-32
%D 2014
%R 10.13197/j.eeev.2014.06.26.qumz.004
%X 与传统的传感器相比,MEMS传感器具有体积小、成本低、可靠性高、易于集成和实现智能化等特点,而近年来更多的地震仪器应用此技术,更加有助于地震研究的深入.本文分析了MEMS的发展现状,介绍了MEMS加速度计的主要分类,通过理论分析和实测背景噪声,比较机械式力平衡加速度计和MEMS加速度计的性能指标,并初步探索地震预警采用何种类型设备的技术成熟度及其可行性.
%K MEMS传感器
%K MEMS加速度计
%K 噪声分析
%U http://dzgc.iemzzs.com/oa/darticle.aspx?type=view&id=20140604