%0 Journal Article
%T 射频磁控溅射制备CuAlO2薄膜及性能表征
%A 孙兆奇
%A 汪娴
%A 李俊磊
%J 安徽大学学报(自然科学版)
%P 13-18
%D 2012
%U http://ahdxzkb.paperopen.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=201203003