%0 Journal Article
%T 射频磁控溅射制备SiO2薄膜及性能表征
%A 宋学萍
%A 黄飞
%A 吕建国
%J 安徽大学学报(自然科学版)
%P 37-42
%D 2010
%U http://ahdxzkb.paperopen.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=20100608