%0 Journal Article %T 基于MEMS技术的平面W型微弹簧刚度特性研究 %A 何光 %A 石庚辰 %J 北京理工大学学报 %D 2006 %X 为了方便平面W型微弹簧的设计和制造,对其刚度特性表征方面进行了研究.运用能量方法推导出平面W型微弹簧弹簧常数计算公式.通过镍质平面W型微弹簧的实际拉伸实验,对推导出的微弹簧弹簧常数计算公式进行了验证,公式计算结果与测试结果基本相符.同时在有限元模拟分析软件———ANSYS中进行了仿真计算,二者一致性很好.在公式和仿真计算的基础上,找出了各结构参数对其刚度的影响规律.研究结果为平面W型微弹簧的优化设计与加工提供了理论指导. %K MEMS弹簧 %K 弹簧常数 %K 能量法 %K 有限元方法 %U http://journal.bit.edu.cn/zr/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20060601&flag=1