%0 Journal Article
%T MEMS微型热敏传感器数值模拟
%A 王竹萍
%A 丁英涛
%A 刘汝卿
%J 北京理工大学学报
%D 2011
%X 借助计算流体动力学软件Fluent,采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizablek-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟.全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数对其灵敏度的影响情况,探讨了提高传感器灵敏度的方法.同时,设计了一款高灵敏度的MEMS微型热敏传感器.数值模拟结果发现,采用具有较低热导率的结构材料及工作气体,隔热效果最佳;合理优化传感器尺寸参数有助于获得较高的灵敏度.该结果对微型热敏传感器的优化设计和实际加工、制造提供了依据.
%K 微电子机械系统(MEMS)
%K 微型热敏传感器
%K 灵敏度
%K 三维数值模拟
%U http://journal.bit.edu.cn/zr/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20111210&flag=1