%0 Journal Article
%T 分形论与非晶态硅薄膜中的分形凝聚
%J 北京理工大学学报
%D 1992
%X 阐述了分形概念及其在非晶硅薄膜微结构分析中的应用.利用透射电子显微镜(TEM)观测,在不同退火温度下,采用不同于常规的原位动态观测技术,获得a-Si:H薄膜中微结构形貌像.通过两种方法计算了分形结构的分维.结果表明,分形结构与a-Si:H薄膜的性质密切相关.对a-Si:H薄膜中的分形结构与晶化之间的关系进行了讨论。
%K 薄膜
%K 非晶态硅
%K 分形
%K 凝聚
%U http://journal.bit.edu.cn/zr/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19920352&flag=1