%0 Journal Article
%T 等离子体镀光学薄膜的数学模型
%J 北京理工大学学报
%D 1993
%X 从电离气体等离子体的基本性质入手,分析了处于等离子体中的基片表面鞘层及基片悬浮电位的形成,计算了正离子进入势垒到达基片的条件、基片的悬浮电位、到达基片的正离子流的密度,以及入射基片的正离子的能量,从而建立起等离子体镀光学膜的数学模型。
%K 数学模型
%K 等离子体镀
%K 光学薄膜
%U http://journal.bit.edu.cn/zr/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19930108&flag=1