%0 Journal Article
%T 纳米半导体薄膜的研究进展
%J 北京理工大学学报
%D 1995
%X 纳米半导体硅薄膜是利用等离子体增强化学气相淀积方法制备的，制备条件可以很好地进行调节控制，纳米硅薄膜由两种组元组成，纳米尺度晶粒组元和晶粒间的界面组元，即晶态相和晶界相组成，这对发展半导体器件，例如量子功能器件和薄膜敏感器件等是特别有价值的。
%K 半导体材料
%K 纳米材料
%K 纳米硅
%K 薄膜
%U http://journal.bit.edu.cn/zr/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19950228&flag=1