%0 Journal Article
%T 电容测微仪动态特性的改进及标定方法
%J 北京理工大学学报
%D 1999
%X 目的对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进。方法以８阶Ｂｕｔｔｅｒｗｏｒｔｈ滤波器ＭＡＸ２９１为核心元件，设计了该系统的动态测量电路，提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法。结果与结论改进后的电容测微仪在±１０μｍ的量程内非线性误差最大不超过０．８０％，重复性精度优于０．１５％，测量精度优于０．１０μｍ，频响范围达４．２ｋＨｚ。
%K 电容测微仪
%K 标定法
%K 主轴
%K 机床
%K 回转运动精度
%U http://journal.bit.edu.cn/zr/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19990124&flag=1