%0 Journal Article
%T 微型剪应力传感器的热特性分析
%A 丁英涛
%A 逯海波
%A 仲顺安
%A 谢君堂
%J 北京理工大学学报
%D 2009
%X 研究不同结构、不同热敏元件温度和不同工作介质等情况下剪应力传感器的性能差异.通过实验和数值模拟相结合的方法对剪应力传感器进行了热特性分析.数值模拟结果发现:采用热敏元件下部埋置真空空腔的结构,隔热效果最佳;选择相对较高的热敏元件温度和较高热物性系数的工作气体有助于获得较高的灵敏度.该结果对优化设计微型剪应力传感器具有通用的指导意义.
%K 微电子机械系统
%K 剪应力传感器
%K 灵敏度
%K 热敏元件
%U http://journal.bit.edu.cn/zr/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20090514&flag=1