%0 Journal Article
%T 一种测量纳米薄膜厚度的新方法
%A 喻江涛
%A 李明伟
%A 王晓丁
%A 程旻
%J 重庆大学学报
%D 2007
%R 10.11835/j.issn.1000-582X.2007.06.009
%X 提出了一种量测纳米薄膜厚度的方法,即根据纳米薄膜与其基底间存在的力学性质上的差异,选用合适的刻划工具,通过对薄膜直接进行刻划,产生划透薄膜且不影响基底的划痕,再运用原子力显微镜扫描,得到划痕区域的微观形貌,由此计算出纳米薄膜的厚度.用该方法对TiO2纳米薄膜进行测量,得到薄膜的平均厚度为71.6nm,与相关文献报道的用其它方法测得的薄膜厚度值较吻合.作为测量纳米薄膜厚度的又一方法,此法具有适用范围广,厚度图像直观,操作和计算均较为简单,精度较高的特点.
%K 纳米薄膜厚度
%K 原子力显微镜
%K 划痕处理
%K 测量
%U http://qks.cqu.edu.cn/cqdxzrcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=200706206&flag=1