%0 Journal Article
%T 一种弱位相差新的检测法——三缝全息干涉装置
%A 程堂郭
%A 王林渝
%A 匡实
%J 重庆大学学报
%D 1988
%X 本文介绍一种检测光学平面度和薄膜厚度的新方法。采用单缝作等间距位移,三次曝光分别记录有位相调制(F_0缝)和无位相调制(F_1和F_2缝)的三缝频谱全息图,以细光束照明全息图的夫琅贺夫衍射谱第一级序,可重现三缝干涉图。此装置简单,分辨率达到1/400波长(λ/400)量级。
%K 三缝频谱
%K 调制度
%K π/2位相调制
%U http://qks.cqu.edu.cn/cqdxzrcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19880103&flag=1