%0 Journal Article
%T 集成电路基板研磨表面误差自动修正技术
%A 郭隐彪
%A 庄司克雄
%J 重庆大学学报
%D 1999
%R 10.11835/j.issn.1000-582X.1999.02.011
%X 针对现有ＬＳＩ基板研磨过程中，表面误差修正中存在的问题，提出了一种表面误差自动修正系统。该系统采用激光技术测量研磨中的基板表面状况；并以此为基础建立加工状况数据库，同时采用楔形机构对基板表面误差修正控制。
%K 自动修正
%K LSI
%K 表面误差
%K 集成电路
%K 基板
%K 研磨
%U http://qks.cqu.edu.cn/cqdxzrcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19990238&flag=1