%0 Journal Article
%T 微电子的过去、现在和未来
%A 严兆辉
%J 科技进步与对策
%P 176-178
%D 2003
%X 从微电子技术产生的背景、过程、取得的巨大成果及目前发展的不利因素介绍了微电子技术的历史和现状;从前沿技术方面介绍了微电子技术的发展方向;介绍了中国在微电子技术上已取得的成果和尚存在的许多问题,并阐明了中国必须大力发展微电子技术。微电子技术历史现状发展方向微电子产业
%K 微电子技术
%K 历史
%K 现状
%K 发展方向
%K 微电子产业
%U http://www.kjjb.org/qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=20615