%0 Journal Article
%T 用规整膜板对砷化镓的三维微结构图形加工刻蚀
%A 黄海苟
%A 孙建军
%A 叶雄英
%A 蒋利民
%A 罗瑾
%A 卢泽生
%J 电化学
%P 253-257
%D 2000
%X 以微齿轮图形结构作为规整模板,用约束刻蚀剂层技术对GaAs样品表面进行了加工刻蚀.在有捕捉剂H3AsO3存在的情况下,规则微齿轮图形能够很好地在样品表面复制.刻蚀结果与没有捕捉剂存在时的刻蚀结果做了比较.另外还测试了不同方法制得膜板的性能,初步探讨了电化学模板的制作工艺.
%K 约束刻蚀剂层技术
%K GaAs
%K 捕捉剂
%K 微加工
%U http://electrochem.xmu.edu.cn/CN/abstract/abstract9328.shtml