%0 Journal Article
%T CO_2激光-化学腐蚀制作金阵列微电极
%A 张维
%A 肖江群
%A 周勇亮
%J 电化学
%P 429-433
%D 2006
%X 微电极的制作是微流控芯片电化学检测的关键技术.本文提出CO2激光烧蚀结合化学腐蚀快速制作微流控芯片阵列微电极的方法.在溅射Au/Cr的玻璃基片上涂敷指甲油作牺牲层,利用CO2激光烧蚀开窗口,经化学腐蚀后获得阵列电极,电极宽度为100μm.考察了激光加工参数及牺牲层对电极加工质量的影响,对由键合包封制作的微流控芯片,循环伏安及流动注射分析测试表明,该电极芯片可用于微流控芯片的安培检测.
%K 微流控芯片
%K 金电极
%K CO2激光
%U http://electrochem.xmu.edu.cn/CN/abstract/abstract8786.shtml