%0 Journal Article %T 高精度棱透镜光束扫描器设计 %J 兵工学报 %P 88-91 %D 1993 %X ?对高精度线性平行扫描光束发生器提出了新的优化设计思想。在30mm的扫描区域内获得了扫描光束线性误差小于0.18μm,平行性误差小于0.37”的高精度的设计结果。 %K 线性扫描 %K fθ物镜 %U http://118.145.16.231/jweb_bgxb/CN/abstract/abstract4075.shtml