%0 Journal Article
%T 磁悬浮平面电机的解耦控制策略
%A 周赣
%A 黄学良
%A 柏瑞
%A 傅萌
%A 张前
%J 中国电机工程学报
%P 81-86
%D 2009
%X 用于光刻加工的磁悬浮平面电机的6个运动自由度之间存在着紧密的电磁和力学耦合。为实现各运动自由度的解耦控制，提出了直线电机型电磁执行器的电流控制模型、基于模式力的解耦动力学模型和平面电机解耦控制策略。模式力使各自由度的动力学模型不再存在耦合，且都为简单的2阶线性系统。设计了样机的X位置伺服控制器，仿真结果表明该控制器使解耦后的X位置控制达到了预期的动、静态性能，并具有良好的抗扰性和鲁棒性。
%K 平面电机
%K 模式力
%K 伺服控制器
%U http://www.pcsee.org/CN/abstract/abstract22828.shtml