%0 Journal Article
%T 一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法
%A 周丽平
%A 孙志峻
%A 张泉
%A 郭语
%J 中国电机工程学报
%P 60-65
%D 2012
%X 针对直线超声电机在精密驱动过程中存在较强的非线性、时变性及控制模型复杂等问题，提出了一种基于正态分布理论统计直线超声电机驱动电压与速度/位移关系的方法，结合模糊逻辑控制技术，实现了对直线超声电机精密定位控制。利用宏微驱动控制模式对超声电机驱动的平台进行大行程、高精度定位实验研究，实验结果表明采用所提方法，当行程为5mm时，稳态误差小于5nm，能抑制系统的超调，改善系统动态性能。同时，由于直线超声电机动态保持力非常大，使得系统具有良好的抗扰动能力。
%K 直线超声电机
%K 定位平台
%K 宏微驱动
%K 大行程
%K 精密定位
%U http://www.pcsee.org/CN/abstract/abstract25401.shtml