%0 Journal Article
%T 超精密六自由度微动台耦合动力学建模及分析
%A 蒋毅
%A 朱煜
%A 杨开明
%A 李鑫
%A 余东东
%J 中国电机工程学报
%P 5451-5457
%D 2014
%R 10.13334/j.0258-8013.pcsee.2014.30.024
%X 多输入多输出(multi-inputmulti-output,MIMO)运动控制系统中,自由度耦合是影响系统运动性能的关键因素。因此,为实现运动系统高速度下纳米级定位精度和轨迹跟踪精度,需要从控制对象内部的耦合机理出发,建立耦合模型,并在此基础上建立动力学模型,实现系统内部的力学解耦。该文研究对象是一种无接触式六自由度微动台,此微动台有8个洛伦兹电机提供驱动力,且竖直方向具有重力平衡装置。基于微动台的结构模型和控制要求,建立了2类主要耦合模型：位置相关耦合和力相关耦合。其中,位置相关解耦连接控制点到质心,力相关解耦连接质心到各驱动力。最后进行了实验验证,实验结果证明了动力学模型的可行性和有效性。
%K 多输入多输出系统
%K 动力学建模
%K 位置相关耦合
%K 力相关耦合
%U http://www.pcsee.org/CN/abstract/abstract27171.shtml