%0 Journal Article
%T 图案化金属铜膜的SIAD法自组装制备
%A 李星星
%A 蒋美萍
%A 朱贤方
%A 苏江滨
%J 科学通报
%P 1764-1768
%D 2013
%R 10.1360/972012-846
%X 利用新发展的小入射角沉积(SIAD)技术在玻璃衬底上自组装制备了图案化金属铜膜.利用金相显微镜(MM)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)/选区电子衍射(SAED)/能量弥散X射线光谱仪(EDX)以及X射线衍射仪(XRD)等技术对所制备的图案化金属铜膜进行了表征.通过分析对比SIAD和垂直入射沉积(NID)铜沉积物的形貌和结构差异,揭示了图案化金属铜膜的形成机理.
%K 图案化金属铜膜
%K 小入射角沉积(SIAD)
%K 定向压应力
%K 层-线状生长
%K 自组装制备
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract511348.shtml