%0 Journal Article %T 离子注入对SiO2表面非晶碳薄膜的化学状态及摩擦学性能的影响 %A 徐洮  %A 杨生荣  %A 齐尚奎 吕晋军  %A 薛群基 %J 摩擦学学报 %D 2001 %X 采用真空蒸镀法在SiO %K 离子束混合 %K 非晶碳薄膜 %K 摩擦学性能 %K 离子注入 %K 结合强度 %U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20010107&flag=1