%0 Journal Article
%T 离子注入对SiO2表面非晶碳薄膜的化学状态及摩擦学性能的影响
%A 徐洮　
%A 杨生荣　
%A 齐尚奎　吕晋军　
%A 薛群基
%J 摩擦学学报
%D 2001
%X 采用真空蒸镀法在SiO
%K 离子束混合
%K 非晶碳薄膜
%K 摩擦学性能
%K 离子注入
%K 结合强度
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20010107&flag=1