%0 Journal Article
%T 脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究
%A 马胜利
%A 马大衍
%A 王昕
%A 徐可为
%A 介万奇
%J 摩擦学学报
%D 2003
%X 对比研究了脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜的摩擦磨损特性，用扫描电子显微镜、X射线衍射仪及销-盘摩擦磨损试验机分析薄膜形貌和结合力，考察了不同沉积条件下2种薄膜的摩擦磨损过程及其影响因素．结果表明，TiCN薄膜具有较高硬度、良好的膜基结合力，相对于TiN薄膜而言表现出更低的摩擦系数和更好的耐磨性能．在实际使用中应注重成分和结构优化设计，以保证薄膜具有良优良的减摩性能．
%K 硬质薄膜
%K PCVD
%K 结合力
%K 摩擦磨损性能
%K 脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积
%K TiN薄膜
%K TiCN薄膜
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20030342&flag=1