%0 Journal Article
%T 磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究
%A 沟引宁
%A 孙鸿
%A 黄楠
%A 张文英
%A 冷永祥
%J 摩擦学学报
%D 2006
%X 采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在Si基体和GCr15基体表面制备了C/C多层DLC膜,通过X射线光电子能谱仪分析薄膜结构特征;用原子力显微镜观察C/C多层DLC膜的表面形貌;采用台阶仪测试薄膜厚度;利用纳米硬度仪测试薄膜纳米硬度;在销盘式摩擦磨损试验机上进行C/C多层DLC膜在大气下的摩擦性能评价,同时比较了单层DLC膜、TiN膜和C/C多层DLC膜的耐磨性能.结果表明:C/C多层DLC膜表面光滑、致密,厚度达0.7μm,硬度高达68GPa,与SiC球对摩时的摩擦系数为0.10左右,耐磨性明显优于单层DLC膜和TiN膜.
%K 磁过滤阴极真空弧源
%K C/C多层DLC膜
%K 摩擦磨损性能
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20060228&flag=1