%0 Journal Article
%T 磁场在直流三极溅射沉积TiC中的应用
%A 相瑜才
%J 摩擦学学报
%D 1983
%X 作者从电磁学基本理论出发,阐明了正交磁场对提高直流三极溅射沉积率的工作原理。并介绍了正交磁场的施加方法和DMZ-450型正交电磁场直流三极溅射炉的特性,它所沉积的TiC涂层质量及其初步的应用效果。
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19830327&flag=1