%0 Journal Article
%T 氮对溅射TiC膜在钢基体上附着力的影响
%A 戚震中
%A 王玉琦
%A 姚伟国
%A 贾俊辉
%A 朱勇
%J 摩擦学学报
%D 1989
%X 作者研究了溅射过程中在辉光等离子体内导入氮对溅射TiC膜在钢基体上附着力的影响。采用自制划痕仪测定了膜的附着力,？用俄歇谱仪研究了膜与基体的界面。结果表明,反应气体N_2能够促使形成一个渐变的过渡界面,从而改善了TiC膜在钢基体上的附着力。本文还讨论了辉光等离子体与基体表面的相互作用。
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19890105&flag=1