%0 Journal Article
%T 基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能
%A 张平余
%A 刘洪
%J 摩擦学学报
%D 1993
%X 作者考察了基体离子注氮预处理对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN镀层结合强度及耐磨性的影响。结果表明,基体经离子注氮预处理的PECVDTiN镀层之结合强度比基体未经离子注氮预处理的高,油润滑条件下的耐磨寿命也比后者的长,干摩擦条件下的耐磨性更比后者的好。X-射线衍射及电子探针分析发现,基体经离子注氮预处理后镀层的TiN(200)峰宽化,镀层与基体的界面变宽。
%K 离子注氮
%K 预处理
%K 耐磨性
%K TiN镀层
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19930218&flag=1