%0 Journal Article
%T 一种薄膜温度传感器的研制与性能试验
%A 虎刚
%A 董光能
%J 摩擦学学报
%D 1995
%X 以射频溅射法分别溅射沉积的Ａｌ２Ｏ３和ＭｇＯ复合层作为绝缘匪，以真空蒸镀的钛膜作为温度敏感膜和以溅射Ａｌ２Ｏ３膜作为保护膜，研制成功了一种宽度为１５μｍ的薄膜温度传感器。测试结果表明，复合层绝缘膜的绝缘性能明显地比Ａｌ２Ｏ３绝缘膜的好，经过同样的热处理后，前者能够保持其２０ＭΩ以上的电阻基本不变，而后者则由２０ＭΩ以上降低到１ｋΩ以下。在给定的试验条件下，这种传感器对温度及作用时间的信号响应敏感，
%K 薄膜
%K 温度
%K 传感器
%K 试验
%K 制造
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19950463&flag=1