%0 Journal Article
%T 磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试
%A 韦习成
%A 李健
%J 摩擦学学报
%D 2000
%X 在试验的基础上提出了测量ＴｉＮ涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式，作为实例测量了不同基体表面粗糙度对磁控溅射沉积的ＴｉＮ涂层界面结合强度的影响，将测量结果与其它测量方法所得结果进行比较，证明提出的方法切实可行。
%K 结合强度
%K 氮化钛涂层
%K 磁控溅射
%K 压痕法测试
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20000384&flag=1