%0 Journal Article
%T 基于多功率源梯度过渡层的Si-DLC的制备及水润滑性能研究
%A 吴行阳
%A 邓兆星
%A 黄一鸣
%A 华子恺
%A 张建华
%J 摩擦学学报
%D 2014
%X 采用溅射、反应溅射与RF-CVD技术相结合的多功率源沉积了梯度过渡层,在此基础上用RF-CVD法沉积了掺硅类金刚石膜,研究了梯度过渡层对薄膜结构、力学性能及水中摩擦学性能的影响.结果表明:梯度过渡层的引入可在一定程度上提高薄膜的sp3成分含量、硬度和杨氏模量,对增强膜基结合力,提高薄膜在水中的抗剥落性能有较显著的效果.
%K 梯度过渡层
%K 多功率源
%K 非晶碳基薄膜
%K 水润滑
%K 摩擦磨损
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20140612&flag=1