%0 Journal Article
%T 微机电系统磨损特性研究进展
%A 张文明
%A 孟光
%J 摩擦学学报
%D 2005
%X 对微机电系统,尤其是微旋转机械的磨损研究现状进行评述,介绍MEMS及微旋转机械中的各种磨损问题,分析材料和不同工况(表面粗糙度、环境以及载荷)等条件对MEMS及微旋转机械磨损性能的影响,介绍不同形式的磨损模型、分析方法与检测仪器,并对相关领域的研究进展进行展望.
%K 微机电系统(MEMS)
%K 磨损性能
%K 表面改性
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=200505103&flag=1