%0 Journal Article
%T 用侧向力显微镜对不同非晶态GeSbTe薄膜的摩擦性能研究
%A 解国新
%A 丁建宁
%A 范真
%A 付永忠
%A 朱守星
%J 摩擦学学报
%D 2005
%X 采用侧向力显微镜研究了磁控溅射方法制备的GeSbTe薄膜在大气环境中的纳米级摩擦性能,考虑了相对湿度、扫描速度及表面粗糙度对其摩擦性能的影响,对比不同成分的GeSbTe薄膜的摩擦特性.结果表明:在相对湿度较大时,扫描速度对针尖和GeSbTe薄膜之间的摩擦力影响很大;在其它条件相同、外加载荷较大时,同一载荷下的摩擦力与表面粗糙度呈线性关系,但在外加载荷较小的情况下,二者呈现非线性变化规律;相对湿度对Ge2Sb2Te5薄膜和针尖的粘附力影响较GeSb2Te4薄膜弱,且粘附力使得摩擦系数减小;在同一相对湿度下,由于薄膜成分的变化导致硬度不同,其对薄膜的摩擦性能也有一定影响.
%K 侧向力显微镜(LFM)
%K GeSbTe薄膜
%K 摩擦
%K 粘附
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20050589&flag=1