%0 Journal Article
%T 磁控溅射氮化钛/氮化铝纳米多层膜的抗磨性能及其在金属加工刀具中的应用研究
%A 姚舜晖
%A 苏演良
%A 高文显
%A 刘醇鸿
%J 摩擦学学报
%D 2005
%X 采用新型高速反应真空磁控溅射系统制备了氮化钛/氮化铝纳米多层膜,探讨了周期(λ)对多层膜力学性能及抗磨性能的影响;在微钻针及车刀表面分别制备了上述多层膜,并分别对电路板以及中碳钢棒进行实机加工测试,以验证其实用性.结果表明:通过控制溅射参数可以制备出周期范围为2.4～67.6nm的氮化钛/氮化铝多层膜;当周期λ≤3.6nm时,相应的多层膜具有较高的硬度、良好的粘附性能及优异的抗磨性能.实机测试结果显示,所制备的多层膜可以改善金属车削和微钻削加工条件,改善程度优于单层氮化钛镀膜.
%K 氮化钛/氮化铝纳米多层膜
%K 周期
%K 耐磨性
%K 车削
%K 微钻削
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20050356&flag=1