%0 Journal Article
%T Cr掺杂对GLC薄膜结构及其摩擦学性能的影响
%A 王佳凡
%A 王永欣
%A 陈克选
%A 李金龙
%A 郭峰
%J 摩擦学学报
%D 2015
%R 10.16078/j.tribology.2015.02.012
%X 采用磁控溅射方法制备类石墨碳膜(GLC)及掺杂金属Cr的类石墨碳膜(GLC-Cr),利用场发射扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱仪(Raman)、X射线光电子能谱仪(XPS)、纳米压痕仪等测试技术对比分析两薄膜样品的结构及机械性能,利用UMT-3多功能摩擦磨损试验机考察其在大气、去离子水、发动机油3种环境下的摩擦学性能.结果表明:本实验参数下制备的类石墨碳膜中,Cr的掺杂促使了类石墨碳膜中sp2杂化键的形成,降低了GLC薄膜的硬度及弹性模量,但在3种不同环境下均使得类石墨碳膜的摩擦学性能得到明显改善.其中水介质的存在可明显降低类石墨碳膜的摩擦系数,而油润滑介质虽未使得其摩擦系数明显降低,但其摩擦曲线波动性及磨损率均最小.
%K 磁控溅射
%K GLC膜
%K Cr掺杂
%K 摩擦学性能
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20150212&flag=1