%0 Journal Article
%T 直流法制备类富勒烯碳氢薄膜的摩擦学性能研究
%A 欧玉静
%A 郭俊猛
%A 王永富
%A 高凯雄
%A 梁爱民
%A 张斌
%A 张俊彦
%J 摩擦学学报
%D 2015
%R 10.16078/j.tribology.2015.01.012
%X 采用直流等离子体化学气相沉积(dc-PECVD)技术,以甲烷为前驱体,在单晶硅表面制备了含氢类富勒烯(FL-C:H)薄膜.简化了含氢类富勒烯(FL-C:H)薄膜的脉冲偏压协助等离子体化学气相制备过程(mc-PECVD),通过高分辨率透射电镜和拉曼光谱确定了FL-C:H薄膜的微观结构和薄膜内的富勒烯含量;通过纳米压痕和往复摩擦试验对比了两种方法制备的FL-C:H与传统的DLC薄膜的硬度及摩擦性能.结果表明:与用脉冲偏压协助方案制备的含氢类富勒烯薄膜相比,直流方案制备的FL-C:H薄膜具有相似的微观结构,更优异的机械特性及摩擦学性能,同时该薄膜表现出对载荷、频率和相对湿度的低敏感性.
%K 直流
%K 类富勒烯
%K 脉冲偏压协助
%K 低敏感性
%U http://www.tribology.com.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20150112&flag=1