%0 Journal Article
%T 缝式喷嘴结构参数对出口流场分布的影响
%A 相颖杰
%A 高超
%A 苏芳臣
%A 陈建钧
%J 华东理工大学学报
%P 785-790
%D 2014
%X 提出了一种用于化学气相沉积法制备6.5%硅钢(wSi=6.5%)的缝式喷嘴结构。利用数值仿真方法模拟了不同结构参数下喷嘴出口处SiCl4气体速度分布情况。基于试验设计方法分析了结构参数对喷嘴出口处速度场分布的影响，以及各影响因素的重要程度。通过软件进行优化分析得到了最优的结构参数。通过实验对仿真结果进行了验证。
%K 缝式喷嘴
%K 流场仿真
%K 试验设计方法
%U http://journal.ecust.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=201406020&flag=1