%0 Journal Article
%T 金属有机化合物化学气相淀积含钛硬质涂层的过程研究
%A 周定为
%A 韩杰
%A 陈敏恒
%J 华东理工大学学报
%D 1990
%X 在垂直冷壁CVD反应器中进行了文题的探索性研究。以二乙胺基钛(Ti(NEt_2)_4)为源,在不锈钢或硬质合金基体上完成了氮化钛(TiN)和碳氮化钛(Ti(C,N))硬质薄膜低温下的淀积。发现(TiN)和(Ti(C,N))分别在773K和973K下形成;在操作范围内整个反应器流场由自由对流控制;反应过程由表面过程控制;反应活化能为235kJ/mol;二乙胺基钛反应级数为1级。进行了热力学计算,提出了反应历程假设。结果表明:用二乙胺基钛进行MOCVD淀积含钛硬质薄膜可以降低温度,以扩大基体的选用范围,为获得硬质薄膜提供了一条新的途径。
%K 化学气相淀积
%K 氮化钛
%K 金属有机化合物化学气相淀积
%K 硬质薄膜
%K 碳氮化钛
%U http://journal.ecust.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19900462&flag=1