%0 Journal Article
%T 纳米颗粒ZnO薄膜气敏机理研究
%A 杜明贵
%A 陆慧
%A 周康夫
%A 邵志翔
%A 潘孝仁
%J 华东理工大学学报
%P 457-460
%D 2008
%X 采用气体放电活化反应蒸发沉积(GDARE)法低温生长纳米颗粒ZnO薄膜.在不同温度下测试其对乙醇的灵敏度,结果表明:285℃附近纳米颗粒ZnO薄膜的灵敏度最高,为9.76,并且其最佳工作温度区间较窄.通过对ZnO薄膜的AFM表面形貌分析、SEM剖面分析和光学透射谱测试,可推测薄膜具有多孔性柱状晶表面结构,结合ZnO薄膜通入乙醇前后的阻抗谱测试结果,从晶粒晶界效应上对纳米颗粒ZnO薄膜的气敏机理进行了讨论.
%K 纳米颗粒
%K ZnO薄膜
%K 灵敏度
%K 透射率
%K 阻抗谱
%K 晶界
%U http://journal.ecust.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20080396&flag=1