%0 Journal Article %T 新型低噪声微机械陀螺闭环驱动电路 %A 孙明 %A 谭晓昀 %A 李子芃 %A 刘晓为 %J 哈尔滨工业大学学报 %P 38-41 %D 2011 %R 10.11918/j.issn.0367-6234.2011.09.008 %X 为将陀螺结构引入到闭环驱动电路的仿真系统中,建立了与微机械陀螺结构等价的电学模型.微机械陀螺闭环驱动电路基于电荷泵锁相环技术,用低噪声跨阻放大器代替传统的电荷放大器实现I-V转换,有效避免了电荷放大器在实现I-V转换时所产生的随陀螺固有频率变化而变化的相位误差.用基于CCCII+技术的有源电阻代替无源电阻,大大降低了电路的噪声,并且提高了电路的集成度.仿真结果表明,微机械陀螺结构的固有频率为2.7kHz,陀螺结构在驱动方向位移的相位滞后于驱动方向驱动力相位90°;在50μA的偏置电流下,有源电阻阻值为250kΩ,在工作频率下的噪声为0.037fV2/Hz,大大低于无源电阻的噪声.闭环接口电路实现了在陀螺固有频率下的自激振荡. %K 闭环驱动电路 %K 微机械陀螺 %K CCCII+ %U http://journal.hit.edu.cn/hitxb_cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20110908&flag=1