%0 Journal Article
%T 四阶Sigma-Delta微加速度计系统设计与分析
%A 刘晓为
%A 刘云涛
%A 姜一鸣
%A 尹亮
%J 哈尔滨工业大学学报
%P 38-41
%D 2011
%R 10.11918/j.issn.0367-6234.2011.07.008
%X 为了降低Sigma-Delta(ΣΔ)微机械加速度计量化噪声,提高系统分辨率,完成了一种单环四阶ΣΔ微加速度计的分析与设计,建立了系统的线性模型,并在此基础上,采用根轨迹法分析了系统稳定性.理论分析表明所建立的四阶ΣΔ微加速度计系统在噪声特性、死区、空闲音方面都具有优良的特性.在系统级的分析与讨论基础上,实现了传感器接口电路晶体管级的设计,该电路采用0.5μm2层多晶2层金属CMOS工艺流片,系统测试结果表明该加速度计灵敏度为1.2V/g,非线性度为0.2%,开环噪声密度12μg/Hz1/2,闭环噪声密度80μg/Hz1/2,整体功耗为40mW.
%K 微加速度计
%K Sigma-Delta
%K 系统级
%K 稳定性
%U http://journal.hit.edu.cn/hitxb_cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20110708&flag=1