%0 Journal Article
%T 双工件台光刻机换台过程的轨迹规划及控制
%A 武志鹏
%A 陈兴林
%A 李欣
%A 姜晓明
%A 刘川
%J 哈尔滨工业大学学报
%P 7-13
%D 2013
%R 10.11918/j.issn.0367-6234.2013.03.002
%X 为减小双工件台光刻机的换台时间,提出了一种改进5阶S轨迹和时间-冲击最小控制算法．分析了双驱双桥换台策略,曝光位和预对准位的两个工件台依次执行5个点对点运动完成换台过程．在常规数值积分S轨迹设计方法中,增加了减小冲击的优化项,设计了改进5阶S轨迹使加速度曲线更加平滑．以换台过程的时间-冲击最小为优化指标,为工件台系统设计了最优控制算法从而大幅度减小换台时间,并且克服了单纯以时间最优Bang-Bang控制中加速度突变的缺点．仿真和实验结果表明,利用轨迹规划和最优控制方法可以实现快速换台运动,改进5阶S轨迹加速度曲线最平滑,时间-冲击最优控制比5阶S轨迹具有更短的换台时间．
%K 双工件台
%K 时间-冲击最小
%K S轨迹
%K 双驱双桥
%U http://journal.hit.edu.cn/hitxb_cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20130302&flag=1