%0 Journal Article %T 光敏聚酰亚胺的最新进展 %A 冯威 %A 李佐邦 %J 功能高分子学报 %P 125-136 %D 1996 %X 综述光敏聚酰亚胺作为感光高分子的最新进展,着重叙述了有机硅改性光敏聚酰亚胺,自增感光敏聚酰亚胺和含氟光敏聚酰亚胺的制备方法和性能研究。 %K 聚酰亚胺抗蚀剂PSPI感光性耐热性 %U http://gngfzxb.ecust.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19960126&flag=1