%0 Journal Article
%T Co、 Al共掺杂ZnO靶材溅射过程中离子与固体相互作用的模拟
%A 傅金彪
%A 吴波
%A 张朝辉
%A 刘海龙
%A 韩维儒
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 2010
%X 根据随机碰撞过程中的级联碰撞原理， 跟踪载能粒子在固体内的慢化过程， 选用SRIM2008软件模拟了Co、 Al共掺杂ZnO靶材在溅射过程中离子与固体相互作用. 研究了溅射过程原子的选择性溅射现象， 溅射原子的能量、 角度分布情况， 得出ZnO基靶材溅射过程中离子与固体相互作用的规律. 欲获得成分接近Zn 0.85Co 0.1Al 0.05O的薄膜， 最佳的溅射工艺条件为： Ar +离子以68°的角度入射， 靶材成分采用Zn 0.7Co 0.23Al 0.07O.
%K ZnO
%K Co
%K Al
%K 溅射
%K 掺杂
%K 离子
%K 固体
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20100418&flag=1