%0 Journal Article
%T 基于镀膜玻璃微流控芯片制作工艺的研究
%A 王伟
%A 王宗文
%A 蔡建南
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 2011
%X 开发了一种采用金属膜绿基玻璃作为芯片制作材料,在玻璃上旋涂光刻胶层,制作微流控芯片的工艺.针对光刻胶层不耐刻蚀液腐蚀的特点,优化了涂胶、匀胶、预烘、曝光、显影、坚膜等制作工艺步骤,使得制作工艺具有良好的稳定性.自制玻璃微流控芯片的通道深度可以达到36μm,宽度可以达到150μm,最大有效直线长度可达150 mm,芯片具有优良的性能.工艺的开发节约了实验资源,提高了芯片设计的灵活性和多样性.
%K 微流控芯片
%K 光刻胶
%K 镀膜玻璃
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20110127&flag=1