%0 Journal Article
%T 组合式金合金圆平面磁控靶的设计
%A 程树英
%A 郑文汀
%A 施金凿
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 1998
%X 首先对传统的圆平面磁控靶的形状进行改进，设计一个靶材利用率高的纯金靶．利用金合金的色区图，计算沉积不同Ｋ值和颜色的镀金膜时，组合式Ｋ金靶上金、银、铜的面积比，从而在纯金靶上固定相应面积的扇形银片和铜片，研制出不同Ｋ值和色度的组合式金合金靶．
%K 磁控溅射
%K 圆平面靶
%K K金
%K 沉积
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19980490&flag=1