%0 Journal Article
%T 静电封接与硅杯腐蚀的新技术
%A 冯景星
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 1994
%X 论述硅与玻璃真空静电封接的工作原理、实验方法以及形成硅杯的各向异性腐蚀技术．关键词
%K 硅杯
%K 静电封接
%K 异向蚀刻技术
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=199405119&flag=1