%0 Journal Article
%T 应用Auger电子能谱仪研究清除GaAs表面碳沾污的有效方法
%A 黄振武
%A 高怀蓉
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 1986
%X 在制作ＧａＡｓ负亲和势光电阴极中。ＧａＡｓ表面碳的沾污往往严重地降低其光电产额。为了去 除ＧａＡｓ表面碳的污染，我们用Ａｕｇｅｒ电子能谱仪对采用不同化学腐蚀处理的ＧａＡｓ表面进行分析 研究，证明在ＧａＡｓ表面有意形成一氧化膜并装进超高真空系统中加热到－５８０℃，对去除ＧａＡｓ 表面碳污染非常有效。
%K 碳污染
%K GaAs
%K 俄歇电子能谱
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19860221&flag=1