%0 Journal Article
%T 大面积液晶显示面板光刻机新型工作台设计
%A 葛嫏
%A 林永水
%A 石宗宝
%A 王思年
%A 吴淦淦
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 1995
%X 论述曝光面积达３５６ｍｍ×３５６ｍｍ，套刻精度为±２μｍ，接近式（０～２５１μｍ）液晶显示面版光刻机的新型工作台设计。
%K 液晶显示面版
%K 光刻机
%K 工作台
%K 曝光间隙
%K 掩模
%K 基片
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=199506134&flag=1