%0 Journal Article
%T 真空静电封接过程与分析
%A 吴新坤
%A 郭太良
%A 黄振武
%A 林建光
%A 章秀淦
%A 王瑞红
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 2000
%X 叙述了真空静电封接技术的工艺过程 ,对封接结果做扫描电子显微镜 (SEM)断面观察 ,并对封接件断面的元素浓度的深度分布用二次离子质谱分析器 (SIMS)进行分析 ,提出了真空静电封接的类电容器结构的新模型 .
%K 真空
%K 静电封接
%K 工艺
%K 分析
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20000237&flag=1